<p id="txt_0">三天后,火炬实验室,地下测试中心。</p><p/>
<p id="txt_1">常浩南刚踏进大门,就看见栗亚波正指挥着几名工程师,在中央区域紧张地搭建着一个结构复杂的光学平台。</p><p/>
<p id="txt_2">空气中弥漫着全新设备特有的正己烷气味,一系列精密元件在灯光下下反射着冷冽的光泽。</p><p/>
<p id="txt_3">“老师,您回来了!”栗亚波抬头看见常浩南,立刻停下手中的活计迎了上来。</p><p/>
<p id="txt_4">双眼有神,明显精神头不错——</p><p/>
<p id="txt_5">制定实验方案还有设备搭建都属于慢工出细活,犯不上每天熬夜加班。</p><p/>
<p id="txt_6">“大部分分辨率测试需要的硬件都到了,气浮隔振台、高精度位移台、光束整形器、旋转毛玻璃、ND滤光片…”</p><p/>
<p id="txt_7">还没等常浩南主动开口询问进度,他就指着平台上一件件昂贵的设备快速汇报:</p><p/>
<p id="txt_8">“还有那个USAF1951分辨率靶标,11组3元素规格的,这东西虽然是标准件但用的人太少找不着现货,还是加急空运到的…”</p><p/>
<p id="txt_9">“现在正在调试光束准直和均匀性,预计还需要两天时间才能完全准备好…”</p><p/>
<p id="txt_10">一个星期的工作,足足十来分钟才介绍完。</p><p/>
<p id="txt_11">设备到位,只是准备工作的开始,而不是结束。</p><p/>
<p id="txt_12">“辛苦了。”常浩南的目光扫过正在搭建的平台,微微颔首,“分辨率测试不急这一两天,按计划稳步推进就好,确保系统稳定可靠。”</p><p/>
<p id="txt_13">随后,他话锋一转,语气变得更为明确:</p><p/>
<p id="txt_14">“不过,你现在需要优先准备另一次性能展示,明天上午,会有两位非常重要的合作者到访。”</p><p/>
<p id="txt_15">栗亚波立刻领会:“还是用那个‘双负折射平板透镜’做基础演示?”</p><p/>
<p id="txt_16">“对。”常浩南点头,“来的都是内行,看一眼光路就能知道怎么回事。”</p><p/>
<p id="txt_17">“明白!”栗亚波神情一肃,“我马上重新检查一遍演示系统,保证不出纰漏。”</p><p/>
<p id="txt_18">他知道,能让老师如此重视,那这“合作者”的身份和分量都必定非同小可。</p><p/>
<p id="txt_19">翌日清晨,火炬实验室主楼。</p><p/>
<p id="txt_20">常浩南亲自来到门口迎接。</p><p/>
<p id="txt_21">一辆中巴车的侧门打开吴明翰院士率先下车。</p><p/>
<p id="txt_22">紧随其后的,是一位身材不高、但眼神锐利的中年人。</p><p/>
<p id="txt_23">还亲自提着一个看起来相当沉重、带有物理锁的黑色合金手提箱。</p><p/>
<p id="txt_24">“常院士!”吴明翰快走两步,热情地与常浩南握手。</p><p/>
<p id="txt_25">随即侧身介绍:“这位就是长光集团的张汝宁张研究员,ArF系列光刻机物镜系统的研发负责人。”</p><p/>
<p id="txt_26">“张研究员,欢迎!”常浩南伸出手,“久仰大名,我是常浩南。”</p><p/>
<p id="txt_27">张汝宁把手提箱换到左手,然后才伸出右手相握:</p><p/>
<p id="txt_28">“常院士客气了,久仰大名这话,应该我来说才对。”</p><p/>
<p id="txt_29">说话间,一众随行人员也陆续下车,分列在略靠后几步的位置。</p><p/>
<p id="txt_30">三人一边寒暄,一边进门乘上电梯,来到了位于顶层的会议室。</p><p/>
<p id="txt_31">坐定之后,张汝宁没有任何多余的客套,直入主题。</p><p/>
<p id="txt_32">“常院士,吴院士之前转达了您的需求。”他拍了拍手中的合金箱,发出沉闷的声响,“这次,我把压箱底的东西带来了。”</p><p/>
<p id="txt_33">他说着向身后示意了一下,助手见状立即上前,将一柄钥匙交到张汝宁手中。</p><p/>
<p id="txt_34">“咔哒”一声,金属箱打开。</p><p/>
<p id="txt_35">里面是几块用防震材料包裹得严严实实的硬盘。</p><p/>
<p id="txt_36">以及一个厚厚的、封面印着“绝密”字样的文件袋。</p><p/>
<p id="txt_37">“这是我们长光为下一代国产ArF浸没式光刻机‘ArF1800’项目准备的几种核心折反式物镜组设计方案。”</p><p/>
<p id="txt_38">张汝宁的语气带着淡淡的自豪,同时还有几分庄重。</p><p/>
<p id="txt_39">坐在常浩南另一边的吴明翰适时开口道:</p><p/>
<p id="txt_40">“虽然目前还处于方案论证阶段,尚未最终确定采用哪种设计路线,但毫不夸张地说,老张的方案,就代表了国内光刻物镜设计的最顶尖水平。”</p><p/>
<p id="txt_41">张汝宁闻言笑了笑。</p><p/>
<p id="txt_42">但这一次,却并未出言自谦。</p><p/>
<p id="txt_43">而是半开玩笑半认真地说道:</p><p/>
<p id="txt_44">“常院士,如果不是火炬实验室的名头,加上您亲自开口,那这些东西,是绝对不可能带出长光大门的。”</p><p/>
<p id="txt_45">在这种场合下,需要对自己的成果表现出一些自信。</p><p/>
<p id="txt_46">再者,过分的谦虚,也是对其它项目参与者的不尊重。</p><p/>
<p id="txt_47">紧接着,他的语气又恢复严肃:“另外,虽然是带出来了但根据规定,不能复制,不能拍照,演示交流结束后,我必须原样带回。”</p><p/>
<p id="txt_48">大家都是体制内的技术人员,自然知道规矩。</p><p/>
<p id="txt_49">常浩南也看得出对方的重视程度已经拉满,也赶紧配合地接了一句:</p><p/>
<p id="txt_50">“我代表火炬实验室,对张研究员,以及长光集团的诚意表示感谢!”</p><p/>
<p id="txt_51">“好!”张汝宁点点头,神情放松下来。</p><p/>
<p id="txt_52">然后示意助手将其中一块硬盘连接到会议室的专用电脑上:</p><p/>
<p id="txt_53">“那我们就开始?您这边的新理念,或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”</p><p/>
<p id="txt_54">ArF1800项目是长光的心血,对标的是ASML的NXT:2000i系列,属于当前DUV体系下的最顶级产品。</p><p/>
<p id="txt_55">他也很想看看,对方能拿出什么新的理念来交流。</p><p/>
<p id="txt_56">然而,常浩南却轻轻摆了摆手,示意那位助手先别动:</p><p/>
<p id="txt_57">“张研究员,先不急着看资料。”</p><p/>